Use this identifier to quote or link this document: http://hdl.handle.net/2072/13375

Caracterització d'oscil·ladors basats en CMOS-M/NEMS i la seva aplicació com a sensors de massa
Sansa Perna, Marc
Universitat Autònoma de Barcelona. Escola Tècnica Superior d'Enginyeria; Barniol i Beumala, Núria
El present projecte tracta sobre la caracterització d'oscil·ladors basats en ressonadors micro/nanoelectromecànics (M/NEMS) i la seva aplicació com a sensors de massa. Els oscil·ladors utilitzats es basen en un pont i una palanca ressoants M/NEMS, integrats en tecnologia CMOS. En primer lloc s'ha fet una introducció teòrica als conceptes utilitzats per a entendre el funcionament i la caracterització dels dispositius. A continuació s'han realitzat proves per tal de caracteritzar els paràmetres importants per a l'ús dels oscil·ladors com a sensors de massa, com la seva estabilitat en freqüència. Per acabar s'han aplicat aquests sensors en la caracterització i modelització del flux de massa a través d'obertures de dimensions micromètriques.
El presente proyecto trata sobre la caracterización de osciladores basados en resonadores micro/nanoelectromecánicos (M/NEMS) y su aplicación como sensores de masa. Los osciladores utilizados se basan en un puente y una palanca resonantes M/NEMS, integrados en tecnología CMOS. En primer lugar se ha realizado una troducción teórica a los conceptos utilizados para entender el funcionamiento y caracterización de los dispositivos. A continuación se han realizado pruebas para caracterizar los parámetros importantes para el uso de los osciladores como sensores de masa, como su estabilidad en frecuencia. Para terminar, se han aplicados estos sensores en la caracterización y modelado del flujo de masa a través de aperturas de dimensiones micrométricas.
The aim of the present project is the characterization of micro/nanoelectromechanical (M/NEMS)-based oscillators and their application as mass sensors. The studied oscillators are based on a bridge and a cantilever resoant M/NEMS, integrated in CMOS technology. Firstly, an introduction to the concepts used to understand the operation and characterization of the devices has been written. Then important parameters for the oscillator working as a mass sensor, like his frequency stability, have been characterized. Finally, the sensors have been used in the characterization of flux passing through micrometer-size apertures.
Nota: Aquest document conté originàriament altre material i/o programari només consultable a la Biblioteca de Ciència i Tecnologia.
2008-06
621.3 - Enginyeria elèctrica. Electrotècnia. Telecomunicacions
Sistemes microelectromecànics
Oscil·ladors elèctrics
Ressonadors
Metall òxid semiconductors complementaris
Aquest document està subjecte a una llicència d'ús de Creative Commons, amb la qual es permet copiar, distribuir i comunicar públicament l'obra sempre que se'n citin l'autor original, la universitat i l'escola i no se'n faci cap ús comercial ni obra derivada, tal com queda estipulat en la llicència d'ús (http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/2.5/es/)
Bachelor Thesis
         

Full text files in this document

Files Size Format
PFC Marc Sansa.pdf 7.684 MB PDF

Show full item record

 

Coordination

 

Supporters